一、工藝原理　　
等離子體技術(shù)原理

等離子體中的化學(xué)反應(yīng)主要是通過(guò)氣體放電產(chǎn)生的快電子激發(fā)來(lái)完成的。這些快電子與氣體分子碰撞，使氣體分子激發(fā)到更高的能級(jí)。被激發(fā)到高能級(jí)的分子，由于其內(nèi)能的增加，既可發(fā)生鍵的斷裂也可以與其它物種發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；而由于碰撞失去部分能量的電子在電場(chǎng)的作用下仍可得到補(bǔ)償。典型的反應(yīng)類型如下：

O3和高能量的自由電子。這些活性物種使得在通常條件下難以實(shí)現(xiàn)的反應(yīng)可以

很容易地在等離子體系統(tǒng)中完成。尤其對(duì)空氣中污染物的脫除，可以在很短的

時(shí)間內(nèi)使其分解甚至完全分解。研究表明，等離子體分解空氣污染物可通過(guò)兩

種途徑完成：
（1）在產(chǎn)生等離子體的過(guò)程中產(chǎn)生的瞬間高能量，打開(kāi)某些有害分子的化學(xué)鍵，使其分解成單質(zhì)原子或無(wú)害分子。
（2）等離子體中包含了大量的高能電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子（其能量范圍如表 1）和具有強(qiáng)氧化活性的自由基，這些活性粒子的平均能量高于氣體分子的鍵能，它們和有害氣體分子發(fā)生頻繁的碰撞，打開(kāi)氣體分子的化學(xué)鍵，同時(shí)產(chǎn)生的大量??OH、HO2?? 、O??等自由基和氧化性極強(qiáng)的 O3 跟有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成無(wú)害產(chǎn)物。

表 1 低溫等離子體中各種粒子能量和幾種氣體分子鍵能

此外，低溫等離子體還有去除空氣中的煙塵顆粒、細(xì)菌、花粉、病毒、孢子等污染物的作用。
去除顆粒污染物放電產(chǎn)生的等離子體中包含有大量的電子和正負(fù)離子，它們?cè)陔妶?chǎng)梯度的作用下，與空氣中的顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞，從而附著在上面，使之成為荷電離子，若外加電場(chǎng)，可被集塵極收集。這一過(guò)程對(duì)懸浮于空氣中直徑小于100 微米的顆粒和直徑小于 10 微米的可吸入顆粒有較高的清除效果。

二、工藝流程圖　

三、低溫等離子體的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

低溫等離子體技術(shù)應(yīng)用范圍廣，氣體的流速和濃度對(duì)于氣態(tài)污染物凈化技

術(shù)應(yīng)用來(lái)說(shuō)是兩個(gè)非常重要的因素。圖 2 所示為氣體流速和濃度與不同治理技

術(shù)之間的關(guān)系。

由圖 2 可以看出，生物過(guò)濾和燃燒技術(shù)能應(yīng)用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限；電子束照射技術(shù)僅有一段非常窄的流速范圍。而低溫等離子技術(shù)對(duì)氣體的流速和濃度都有一個(gè)很寬的應(yīng)用范圍，其應(yīng)用廣泛不言而喻。

圖 2 氣態(tài)污染物凈化技術(shù)的應(yīng)用范圍低溫等離子技術(shù)工藝簡(jiǎn)單，吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時(shí)還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；聯(lián)合催化法中，催化劑存在選擇性，某些條件(如溫度過(guò)高)會(huì)造成催化劑失活，生物法要嚴(yán)格控制 pH 值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長(zhǎng)。而低溫等離子體技術(shù)者較好地克服了以上技術(shù)的不足，反應(yīng)條件為常溫常壓，反應(yīng)器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，并可同時(shí)降解混合氣態(tài)污染物，不會(huì)產(chǎn)生二次污染。在投資費(fèi)用方面，低溫等離子體反應(yīng)裝置本身系統(tǒng)構(gòu)成單一緊湊，還可通過(guò)現(xiàn)有的靜電除塵裝置改進(jìn)實(shí)現(xiàn)。在運(yùn)行費(fèi)用方面，微觀上講，因放電過(guò)程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應(yīng)體系就得以保持低溫，所以不僅能量利用率高，而且使設(shè)備維護(hù)費(fèi)用降低。

四、應(yīng)用范圍

本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電子、電器、線路板、電鍍、機(jī)械、化工、電廠、礦業(yè)、冶煉、橡膠、家具、皮革、紙業(yè)、陶瓷、汽車制造等行業(yè)。